Technologie mikroobrábění je velmi flexibilní proces, kterým lze vyrábět mikrosoučástky složitých tvarů. Navíc se dá aplikovat na širokou škálu materiálů. Díky své přizpůsobivosti je zvláště vhodný pro rychlý provoz od nápadu po prototyp, výrobu složitých 3D struktur a iterativní návrh a vývoj produktů,
1. Technologie fyzikálního mikroobrábění
Zpracování laserovým paprskem: proces zpracování, který využívá tepelnou energii vedenou laserovým paprskem k odstranění materiálů z kovových nebo nekovových povrchů. Je vhodnější pro křehké materiály s nízkou vodivostí, ale lze jej použít pro většinu materiálů.
Zpracování iontovým paprskem: důležitá nekonvenční výrobní technologie pro mikro/nano výrobu. Využívá zrychlený tok iontů ve vakuové komoře k odstranění, přidání nebo úpravě atomů na povrchu předmětu.
2. Technologie chemického mikroobrábění
Reaktivní iontové leptání (RIE): plazmový proces, při kterém jsou látky excitovány vysokofrekvenčním výbojem k leptání substrátů nebo filmů v nízkonapěťové komoře. Jde o synergický proces chemických aktivních látek a vysokoenergetického iontového bombardování.
Elektrochemické obrábění (ECM): metoda odstraňování kovů elektrochemickými procesy. Obvykle se používá pro velkosériovou výrobu a zpracování extrémně tvrdých materiálů nebo materiálů obtížně zpracovatelných tradičními metodami. Jeho použití je omezeno na vodivé materiály. ECM může řezat malé nebo nepravidelné úhly, složité obrysy nebo dutiny v tvrdých a vzácných kovech.
3. Technologie mechanického mikroobrábění
Diamantové soustružení: proces soustružení nebo obrábění přesných součástí na soustruhu nebo derivačním stroji vybaveném přírodním nebo syntetickým diamantovým bitem.
Diamantové frézování: proces řezání, který lze použít k vytvoření pole asférických čoček kruhovým řezáním pomocí sférického diamantového nástroje.
Přesné broušení: abrazivní obrábění, které umožňuje opracování obrobku na jemnou povrchovou úpravu s velmi úzkou tolerancí 0,0001 ".
Leštění: abrazivní zpracování, leštění svazkem argonových iontů je poměrně stabilní proces, který se používá pro konečnou úpravu zrcadel dalekohledů a korekci zbytkových chyb mechanického leštění nebo optických zařízení pro soustružení diamantem. Proces MRF je první deterministický proces leštění. Komercializované a používané při výrobě asférických čoček, reflektorů atd.
